勻膠機(jī)利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設(shè)備，膜的厚度取決于勻膠機(jī)的轉(zhuǎn)速和溶膠的黏度。主要用于材料浸入液體，膠體中經(jīng)提拉在表面形成薄膜，適用于硅片，晶片，玻璃，陶瓷，木材，金屬等所有固體材料表面涂覆工藝?？稍诳蒲校逃?，生產(chǎn)中應(yīng)用。
 

　　勻膠機(jī)的旋轉(zhuǎn)涂覆技術(shù)：
 

　　旋轉(zhuǎn)涂覆技術(shù)所使用的設(shè)備是勻膠機(jī)。它的原理是在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。
 

　　從其原理來說，勻膠機(jī)有以下兩個特點。
 

　　(1)旋轉(zhuǎn)速度
 

　　轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實際轉(zhuǎn)速誤差很大，對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準(zhǔn)確的實驗數(shù)據(jù)的。轉(zhuǎn)速控制方面有國際認(rèn)定標(biāo)準(zhǔn)，如美國NIST標(biāo)準(zhǔn)等。
 

　　(2)真空吸附系統(tǒng)
 

　　真空泵一般采用無油泵，即通常說的干泵，因為任何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況，還會讓滴的膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)造成*堵塞。有的勻膠機(jī)通過聯(lián)動機(jī)制，當(dāng)真空吸附力不夠時不會開始旋轉(zhuǎn)。這樣可有效避免滴的膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)。
 

　　勻膠機(jī)的主要特點：
 

　　1、計算機(jī)控制運行，運行參數(shù)記憶，一鍵復(fù)位，保障試驗過程可重復(fù)。
 

　　2、實時數(shù)據(jù)顯示，方便觀察實驗現(xiàn)象。到位自動停機(jī)，聲音報告。
 

　　3、高精度直線導(dǎo)軌控制運行軌跡，保障運行軌跡的精確直線性。
 

　　4、2個工作位：可安放2個燒杯，內(nèi)盛不同粘度的膠體。
 

　　5、每個工作位可夾持1個以上的“玻片”。
 

　　6、工作效率更高。
 

　　7、彈簧夾持“玻片”，結(jié)構(gòu)更簡單，操作更方便。