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  • 2022

    6-9

    勻膠機(jī)是在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設(shè)備,膜的厚度取決于勻膠機(jī)的轉(zhuǎn)速和溶膠的黏度。該設(shè)備主要用于晶片涂光刻膠,有自動(dòng)、手動(dòng)和半自動(dòng)三種工作方式。勻膠機(jī)的工作過程:送片盒中的晶片,自動(dòng)送到承片臺上,用真空吸附,在主軸電機(jī)的帶動(dòng)下旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速100-9900轉(zhuǎn)/分(±10轉(zhuǎn)/分),起動(dòng)加速度可調(diào)。每道程序的持續(xù)時(shí)間,轉(zhuǎn)速、加速度、烘烤溫度、烘烤時(shí)間、預(yù)烘時(shí)間等工藝參數(shù)均可通過編程控制。勻膠機(jī)有一個(gè)或多個(gè)滴膠系統(tǒng),可...

  • 2022

    6-1

    小型涂膜機(jī)的使用前準(zhǔn)備:機(jī)器開箱,有三部分組成:整機(jī)、刮刀組件、電源線選配件:烘干系統(tǒng)、真空系統(tǒng)1、將機(jī)器木箱及紙箱小心拆開,嚴(yán)禁倒置敲砸,將機(jī)器平穩(wěn)放在承重平面上。2、檢查所有外觀部分,保證無損傷變形,松動(dòng)。3、將刮刀部分編號:2與整機(jī)分開放置,檢查刮刀,同時(shí)旋轉(zhuǎn)數(shù)顯表左右調(diào)節(jié)鈕,觀察刀體是否能上下自如活動(dòng),確認(rèn)后,打開數(shù)顯開關(guān),調(diào)到MM單位,調(diào)試清零鍵等。小型涂膜機(jī)的開機(jī)調(diào)試:1、在確認(rèn)前兩步后,插上220V電源。2、按下機(jī)器面板上電源按鍵,綠燈會(huì)亮起,會(huì)聽到一聲電機(jī)通電...

  • 2022

    5-26

    自動(dòng)顯影勻膠機(jī)采用進(jìn)口旋轉(zhuǎn)馬達(dá),通過精準(zhǔn)定位系統(tǒng),輔以皮帶傳送,實(shí)現(xiàn)光刻膠的自動(dòng)涂覆,前烘。旋轉(zhuǎn)速度達(dá)6000rpm,*加工片數(shù)多達(dá)10000片以上。自動(dòng)勻膠具有加工速度快,涂覆均勻性好,節(jié)省光刻膠等特點(diǎn)。設(shè)備具有操作簡單,維護(hù)量小等特點(diǎn)。自動(dòng)顯影勻膠機(jī)的產(chǎn)品特點(diǎn):1、設(shè)備采用高效機(jī)械手,重復(fù)定位精度高、產(chǎn)能高,自動(dòng)完成勻膠、顯影工藝;2、配備烘烤及冷卻單元,工藝參數(shù)數(shù)字化檢測控制,自由編制、修改、儲(chǔ)存、調(diào)用工藝程序;3、故障、生產(chǎn)工藝參數(shù)等記錄等可長期保存?zhèn)洳椋?、操作簡便...

  • 2022

    5-17

    勻膠機(jī)的原理是在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。選擇勻膠機(jī)需要考慮以下三個(gè)方面:1、旋轉(zhuǎn)速度轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際轉(zhuǎn)速如果誤勻膠機(jī)圖冊差很大,對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的。國產(chǎn)的大部分低端勻膠機(jī)只能提供轉(zhuǎn)速范圍,并不能標(biāo)定實(shí)時(shí)的轉(zhuǎn)速。2、真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)造真空泵一定要無油的,...

  • 2022

    5-9

    實(shí)驗(yàn)室涂膜機(jī)的操作方法:一、使用前準(zhǔn)備1、將機(jī)器木箱及紙箱小心拆開,嚴(yán)禁倒置敲砸,將機(jī)器平穩(wěn)放在承重平面上。2、檢查所有外觀部分,保證無損傷變形,松動(dòng).3、將刮刀部分編號:2與整機(jī)分開放置,檢查刮刀,同時(shí)旋轉(zhuǎn)數(shù)顯表左右調(diào)節(jié)鈕,觀察刀體是否能上下自如活動(dòng),確認(rèn)后,打開數(shù)顯開關(guān),調(diào)到MM單位,調(diào)試清零鍵等。二、開機(jī)調(diào)試1、在確認(rèn)前兩步后,插上220V電源2、按下機(jī)器面板上電源按鍵,綠燈會(huì)亮起,會(huì)聽到一聲電機(jī)通電產(chǎn)生的脈沖音3、輕按開始按鍵,推力桿編號:3會(huì)向右移動(dòng),然后會(huì)折返停留...

  • 2022

    4-25

    臺式勻膠機(jī)適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等其用途廣泛包括適合半導(dǎo)體大型晶圓硅片,芯片,晶片,基片,液晶片,華陽板等各種膠體的工藝制版表面涂覆或光刻工藝勻膠。臺式勻膠機(jī)的設(shè)備特點(diǎn):1、該設(shè)備采用先進(jìn)技術(shù),使用進(jìn)口配件使高轉(zhuǎn)速加速度更加穩(wěn)定,控制更加精確.電機(jī)采用新型直流永磁電機(jī)抗電磁干擾。2、定子和轉(zhuǎn)子分開供電.定子用穩(wěn)定電源供勵(lì)磁電流,轉(zhuǎn)子用開關(guān)電源調(diào)速,它比可用控硅調(diào)速*得多,轉(zhuǎn)速在1000~8000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定。在未取得真空的狀態(tài)不會(huì)轉(zhuǎn)到,保證了使用的可靠性。3、本勻膠...

  • 2022

    4-19

    涂膜機(jī)主要用于制備涂膜,其重現(xiàn)性好。因手工涂膜經(jīng)常不協(xié)調(diào),特別是不同操作人員之間,這就使得試樣的比較很困難,甚至是不可靠。因?yàn)橛绊懲磕さ囊蛩厥羌羟兴俾屎图釉谑┕すぞ呱系闹亓?,該自?dòng)涂膜機(jī)使用一個(gè)可控制的線棒或各種涂膜器,以選定的速度來制備涂膜。由于試板平整地放在玻璃板上,涂膜時(shí)剪切速率和加在施工工具上的重量保持不變,從而大大提高了涂膜的重現(xiàn)性,獲得對涂膜的物理性、外觀、化學(xué)性能一致均勻的涂膜。涂膜機(jī)的使用方法:1、接好電源。2、將待涂布底材(如:黑白紙)平放在涂布底座上,打開...

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